TMC SEM-Base VI 主動(dòng)壓電隔振

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。
SEM-Base VI采用d特的“串行結(jié)構(gòu)”，其中的振動(dòng)傳感器測量地面振動(dòng)，而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同，這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有最大靈敏度。結(jié)合我們du 特的壓電致動(dòng)器技術(shù)，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)ji 高的消振水平。
SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡單易用的圖形界面，可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時(shí)，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。

注意：請(qǐng)參見SEM-Closure，這是一種專為保護(hù)SEM而設(shè)計(jì)的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個(gè)密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動(dòng)、磁場干擾和聲學(xué)噪聲的影響。

TMC SEM-Base VI 主動(dòng)壓電隔振 優(yōu)勢

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - d特的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90％的zhuo 越慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。