控制系統(tǒng)

控制方式

全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換）

PLC（標(biāo)配）/PC（可選）

操作系統(tǒng)

Windows 10

觸摸屏

7寸

整機(jī)規(guī)格

尺寸

W6900×D1650×H1150mm

腔體

處理寬幅

<520mm

材質(zhì)

鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選），腔體3段式

冰水機(jī)

通路

用于電源、電極、真空泵浦的冷卻

供電

AC380V、3PH、50/60Hz、3KW

蝕刻能效

速率

≥0.5µm/Min

均勻性

≥90%

真空計(jì)

薄膜硅電容耐腐蝕

1個(gè)，0-10Torr

流量計(jì)

MFC

4個(gè)，量程0-2000ml/min

真空泵

干泵機(jī)組（螺桿泵+羅茨泵）

1套，120m³/h+1800 m³/h；極限真空值≤50mTorr

發(fā)生器

中頻

40KHz，20KW

溫度控制系統(tǒng)

過程溫度控制

30-150℃恒定可控

張力控制系統(tǒng)

數(shù)顯張力

-

其它

工藝氣體：14MPa減壓至0.3MPa，O₂=9.99%;Ar=99.99%;N₂=99.99%;CF₄=99.999%

氣體壓力：0.2MPa≤氣源≤1MPa；氣源壓力：0.3-0.8MPa；氣源純度：無油無水干燥氣體；工作環(huán)境溫度：≤30℃；凍水流量：5 SLM；干燥Air/N₂流量：17 SLM