FPTOR-IBD 離子束沉積系統(tǒng),離子shu沉積濺射鍍膜
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 孚光精儀
- 型號 FPTOR-IBD
- 產地 www.felles.cn/pvd.html
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/12/16 10:50:22
- 訪問次數(shù) 676
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離子束沉積系統(tǒng)IBD采用真空沉積工藝,使用直接聚焦在濺射靶上的寬束離子源實現(xiàn)離子束沉積濺射鍍膜。然后,來自靶材的濺射材料沉積在附近的襯底上形成薄膜。
一些應用將使用濺射靶材的組件,該組件可被索引以創(chuàng)建多層薄膜。大多數(shù)IBD應用將使用第二個離子源IBAD來控制和增強濺射膜的性能。
離子束沉積系統(tǒng)IBD特點
電拋光不銹鋼腔室(D形盒)
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
匹配雙級旋轉葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶會聚束離子源和電源的離子束沉積,易于安裝靶材
具有發(fā)散束離子源和電源的離子束輔助沉積
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字讀數(shù)的質量流量控制器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的全量程真空計
半自動控制系統(tǒng)
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