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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>質(zhì)譜>氣體質(zhì)譜/在線質(zhì)譜>Transpector CPM RGA INFICON/英??等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀

Transpector CPM RGA INFICON/英??等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌 INFICON/美國
  • 型號 Transpector CPM RGA
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/1/24 14:08:43
  • 訪問次數(shù) 2597

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      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授權(quán)代理商,專業(yè)銷售INFICON旗下的真空產(chǎn)品及設(shè)備,同時致力于先進真空技術(shù)的推廣和應(yīng)用,為廣大用戶改進生產(chǎn)工藝,提升競爭力提供產(chǎn)品服務(wù)和技術(shù)支持。

      目前,公司所經(jīng)營的產(chǎn)品主要有三大類: 一、膜厚控制/監(jiān)測系統(tǒng),產(chǎn)品包括膜厚控制儀、膜厚監(jiān)測儀、傳感器探頭、振蕩器及坩堝控制儀等;二、氣體檢漏/分析系統(tǒng),產(chǎn)品有氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、四極質(zhì)譜儀(即殘余氣體分析儀)及其他類型檢漏儀;三、真空監(jiān)測/控制系統(tǒng),產(chǎn)品主要包括:真空規(guī)、壓強控制儀、質(zhì)量流量計、真空閥門、真空密封件等;產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋光電技術(shù)、太陽能薄膜、半導(dǎo)體制造、照明電器、空調(diào)制冷、科研、航天、汽車制造等眾多行業(yè)和領(lǐng)域。公司本著“積極進取、開拓創(chuàng)新”的精神,不斷提升專業(yè)技能、完善運營細節(jié),兢兢業(yè)業(yè)、勤勤懇懇,旨在為廣大用戶提供更好的真空技術(shù)支持和更加完善的售后服務(wù)。

我們的理念是“完善自我,攜手用戶,精誠合作,共同進步”。我們以我們的誠信和服務(wù)贏得用戶的肯定和信任,以客戶的肯定和信任作為我們孜孜以求的動力和目標(biāo),期待更多新老朋友來電來函咨詢業(yè)務(wù),洽談合作!







氦質(zhì)譜檢漏儀,冷媒檢漏儀,真空計,膜厚控制儀,流量控制器,氣體分析儀,真空泵及耗材,晶振片

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合

微信圖片_20220815100633.jpg


INFICON/英??等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀 Transpector CPM RGA


INFICON CPM RGA(殘余氣體分析儀)是一臺全功能、輕便、高性能氣體分析儀,理想地用于現(xiàn)場監(jiān)測復(fù)雜的過程. 其干式抽空系統(tǒng)采用INFICON Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)的驗證技術(shù),并達到新的性能水平。

功     能
  • 應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD ,對殘余氣體進行過程監(jiān)測和分析

  • 測量速度為每點 1.8 ms(每秒 555 點)

  • 在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中,展現(xiàn)出經(jīng)實踐驗證的耐久性和可靠性

  • 應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件,由 INFICON 提供支持,是一款強大的過程監(jiān)測與診斷工具

  • 緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

  • Hexblock™ 含三個壓力進口并減少表面積,以最小化表面反應(yīng)時間和響應(yīng)時間

  • 電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力,并自動保護系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移

  • 自動校準(zhǔn) — 確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度,以便進行各傳感器和工具的腔室匹配

用戶*性

   INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實現(xiàn)現(xiàn)場早期報警:
   ■    測量氣相反應(yīng);
   ■    驗證真空的完整性;
   ■    鑒別痕量污染物;
   ■    測量過程與本底的組分;
   ■    定性氣體純度。
Type100 AMU CPM200 AMU CPM300 AMU CPM
分辨率1 amu wide @ 10% peak height1 amu wide @ 10% peak height1 amu wide @ 10% peak height
總壓力范圍15E-7 - 1E-3 Torr5E-7 - 1E-3 Torr5E-7 - 1E-3 Torr
總壓力精度2+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
最大離子源工作壓力31E-3 Torr1E-3 Torr1E-3 Torr
標(biāo)稱工作壓力?2E-4 Torr2E-4 Torr2E-4 Torr
系統(tǒng)工作壓力1E-8 Torr - 1.2 atm1E-8 Torr - 1.2 atm1E-8 Torr - 1.2 atm
靈敏度(低發(fā)射)> 4E-6 Amps/Torr> 2E-6 Amps/Torr> 1E-6 Amps/Torr
靈敏度(高發(fā)射)> 2E-5 Amps/Torr> 1E-5 Amps/Torr> 5E-6 Amps/Torr
最小可檢測分壓?1E-13 Torr2E-13 Torr4E-13 Torr
最大數(shù)據(jù)速率1.8 ms/point (555 points/sec)1.8 ms/point (555 points/sec)1.8 ms/point (555 points/sec)
豐度靈敏度?< 5 ppm< 10 ppm< 100 ppm
零沖擊?< 2 ppm< 25 ppm< 200 ppm
檢測限值?< 1 ppm< 2 ppm< 4 ppm
線性度?+/- 20%+/- 20%+/- 20%
最小背景壓力1E-8 Torr1E-8 Torr1E-8 Torr
最大傳感器和進氣溫°C150150150

INFICON/英??等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀 Transpector CPM RGA

1.使用總壓強鏡頭獲得的離子源壓強讀數(shù)@低發(fā)射

2.總壓強準(zhǔn)確度@低發(fā)射

3.離子源最大工作壓強@低發(fā)射

4.2x10-4Torr的離子源將在四極區(qū)域產(chǎn)生大約1x10-5Torr的壓強

5.EM開啟且保壓時間為1秒時離子源處的MDPP

6.質(zhì)量數(shù)4041 AMU的貢獻

7.零沖擊對2 AMU的貢獻

8.空氣中的氪的最小可檢出濃度@ 1秒保壓時間

9.適用于1 Torr孔板或更低設(shè)置。0.12倍標(biāo)稱孔板壓強條件下的線性@低發(fā)射




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