MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器可提供 ISO 21501 精度的連續(xù)顆粒監(jiān)測應(yīng)用。緊湊的設(shè)計(jì)，靈活的粒徑、流量和通信解決方案選項(xiàng)，可滿足制藥，半導(dǎo)體，硬盤驅(qū)動(dòng)器和平板顯示器行業(yè)對(duì)潔凈室監(jiān)測的特定需求。

優(yōu)勢

• 業(yè)界的潔凈室顆粒計(jì)數(shù)的在線可靠性
  ISO21501兼容的內(nèi)置流量傳感器，確保 CFR21 數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性

• 靈活方便，可用于所有的遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器應(yīng)用
  可靈活地用于0.1cfm或1.0cfm流速下的0.3微米或0.5微米靈敏度的顆粒計(jì)數(shù)

• 質(zhì)量和可靠性
  采用長壽命激光二極管，可保證連續(xù)監(jiān)測

• 易于同任意FMS系統(tǒng)集成
  開放式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可與您的系統(tǒng)無縫通信，多種通訊方式可供選擇（脈沖、Modbus串口、以太網(wǎng)、無線和模擬）

• 解決故障更迅速，減少停機(jī)時(shí)間
  MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器，能診斷出流量、傳感器或通訊故障，從而可通過內(nèi)置的狀態(tài)指示燈發(fā)出視覺報(bào)警信號(hào)，提前告知硬件故障信息

• 易于安裝，減少成本
  減少了 MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器集成多參數(shù)測量設(shè)備的初始安裝成本。可選配的相對(duì)濕度和溫度探頭能將 RH / T（相對(duì)濕度和溫度）數(shù)據(jù)與顆粒計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)匯聚在同一條數(shù)據(jù)流中

應(yīng)用領(lǐng)域

• ISO 14644 合規(guī)性
  符合 ISO21501 標(biāo)準(zhǔn)，可確保你的設(shè)備能符合 ISO14644 下一個(gè)版本的要求

• 無菌潔凈室生產(chǎn)
  MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器是專為用來管控所有位置固定的無菌灌裝潔凈室而設(shè)計(jì)的

• 半導(dǎo)體潔凈室環(huán)境
  MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器是業(yè)界顆粒計(jì)數(shù)裝置，*符合 ISO21501 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，保證能增加產(chǎn)量

• 平板潔凈室環(huán)境
  可利用 MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器提高產(chǎn)量且消除你的平板生產(chǎn)區(qū)的污染問題

• 硬盤驅(qū)動(dòng)器潔凈室環(huán)境
  MET ONE 6000 遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器具有低成本的每點(diǎn)顆粒計(jì)數(shù)價(jià)格，并擁有業(yè)界高品質(zhì)