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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>分子束外延(MBE)>FPSEM-STE3N III族氮化物分子束外延系統(tǒng)

FPSEM-STE3N III族氮化物分子束外延系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 孚光精儀
  • 型號(hào) FPSEM-STE3N
  • 產(chǎn)地 www.felles.cn/mbe.html
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/12/16 9:29:17
  • 訪問次數(shù) 757

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孚光精儀是進(jìn)口精密儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測(cè)試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測(cè)試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測(cè)試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進(jìn)制造*的分析,計(jì)量,測(cè)試和實(shí)驗(yàn)工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測(cè)試分析的有力實(shí)驗(yàn)技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個(gè)以光學(xué)為特色的進(jìn)口儀器和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備公司,擁有齊全的進(jìn)口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測(cè)試技術(shù)儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價(jià)值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗(yàn)豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認(rèn)適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進(jìn)口體驗(yàn)。
以豐富的進(jìn)口操作經(jīng)驗(yàn)和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進(jìn)口和購置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測(cè)試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測(cè)試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測(cè),燃燒分析成像等儀器)

無損光學(xué)檢測(cè)儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實(shí)驗(yàn)儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實(shí)驗(yàn)室儀器實(shí)驗(yàn)室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動(dòng)機(jī)研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進(jìn)制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢(shì)國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進(jìn)口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進(jìn)口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進(jìn)口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報(bào)關(guān),進(jìn)出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進(jìn)口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽(yù)*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機(jī)所

*西安光機(jī)所

*安徽光機(jī)所

*長春光機(jī)所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團(tuán)公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開大學(xué)

天津大學(xué)


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

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這款III族氮化物分子束外延系統(tǒng)專業(yè)為A3N材料生長設(shè)計(jì)的MBE設(shè)備,適合氨氣高溫下制備生長A3N半導(dǎo)體材料,提供非常廣泛的可用生長參數(shù)(有效氮通量、襯底溫度、生長過程中的真空度)。III族氮化物分子束外延系統(tǒng)設(shè)計(jì)在襯底上提供*的溫度(>1200℃)以及在長生長周期中加熱階段的可靠工作。利用氨作為活性氮源,可以生長出高質(zhì)量、厚的AlN/AlGaN緩沖層。這項(xiàng)技術(shù)的結(jié)果是生長出位錯(cuò)密度極低的活性層,為分子束外延(MBE)創(chuàng)造了記錄。
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)系列有兩種(STE3N2)和三種(STE3N3)基本類型,配備有緩沖準(zhǔn)備室。除了NH3注入器外,III族氮化物分子束外延系統(tǒng)還可能配備氮等離子體源(可選),用于生長InGaNInAlNInAlN的活性層藻類:MgIn與氨水混合。
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)采用襯底支架和生長操縱器的加熱臺(tái)的patent設(shè)計(jì),用于III氮化物生長的所有類型襯底(藍(lán)寶石、SiC、Si、AlN)提供了非常高的加熱均勻性。允許最大襯底直徑100mm,用于基礎(chǔ)和應(yīng)用研發(fā)以及基于III型氮化物的高質(zhì)量外延片的試生產(chǎn)。
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)

III族氮化物分子束外延系統(tǒng)主要特點(diǎn):
•特殊的先進(jìn)設(shè)計(jì)和經(jīng)批準(zhǔn)的生長反應(yīng)器,在NH3環(huán)境和jiduan基質(zhì)溫度下提供關(guān)鍵系統(tǒng)組件的長期可靠運(yùn)行
•超大液氮冷凍板,用于有效的氨氣泵送,在高NH3負(fù)荷下提供連續(xù)生長
patent鋁源,特殊設(shè)計(jì),延長使用壽命,在氨氣環(huán)境下提供超過2μm/hAlN生長速率,無金屬蠕變
•能夠生長質(zhì)量與在不匹配襯底上生長的MOCVD層相當(dāng)?shù)?/span>GaN外延層
•在系統(tǒng)基本配置中對(duì)生長過程進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)的所有必要工具
•獲得patent的基板支架設(shè)計(jì),在整個(gè)晶圓上提供高溫均勻性
•高溫生長操縱器,在不低于1200°С的生長溫度下提供高質(zhì)量AlN層的連續(xù)生長
•在210-135 mm范圍內(nèi)改變“源-基”距離的能力,以使用不同類型的電池和晶片OD優(yōu)化均勻性
STE3N2雙腔型緊湊型“封裝外形”
•安裝期間的有效技術(shù)支持,包括基本工藝轉(zhuǎn)移
•簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作和定期的技術(shù)維護(hù)
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)主要選項(xiàng):
•準(zhǔn)備室,帶有用于基板支架(7個(gè))和脫氣臺(tái)的存儲(chǔ)盒,原子氫源專用端口
•額外的滲出細(xì)胞(515、25、35、60 cc的坩堝)
•附加PID調(diào)節(jié)器電源單元
•射頻等離子體氮源,帶有帶MFC的氮?dú)夤?yīng)管線
SiH4氣體噴射器和帶MFC的氣體供應(yīng)管線
Bayard-Alpert型束流監(jiān)測(cè)器(BFM
•在渦輪泵中提供額外的原子基底,以及分子泵制備
•帶電源裝置的鈦升華泵
•額外的基板支架,包括用于非標(biāo)準(zhǔn)尺寸樣品的適配器
•系統(tǒng)運(yùn)行的起始材料(Ga、Al、In、NH3、N2、Si、Mg、鈦金屬化藍(lán)寶石晶片等)
•基于相分離器的液氮供應(yīng)系統(tǒng)
•額外的備件和附件套件
III族氮化物分子束外延系統(tǒng)參數(shù)

烘烤后生長室的最終真空度,Torr<5×10-11
最大基板直徑,mm100
3″基板的厚度和成分不均勻度,%±1
生長機(jī)械手加熱元件的設(shè)計(jì)PBN/PG/PBN
最大基板表面溫度,℃1200
生長室壓力,Torr
–基板溫度為970°С,氨流量為400 sccm
–基底溫度為1200°С,氨流量為100 sccm
–基底溫度為500°С,氨流量為1000 sccm

<1×10-5

<5×10-6

<1×10-5
生長幾何學(xué)可調(diào),“源到基片”距離135-210 mm
集成分析RHEED、BFM(可選)、RGA、激光干涉儀、紅外高溫計(jì)
制備室中基板退火的最高溫度,不低于,℃1100
最大氨工作流量,sccm100
生長室的烘烤溫度,不低于,℃200,無熱點(diǎn)形成
工藝過程自動(dòng)化操作員通過控制界面進(jìn)行手動(dòng)控制或通過配方執(zhí)行工藝



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