快速檢漏輔助系統(tǒng)一

通過外加大抽速真空泵，達到對抽空工件快速抽空的目的。適用于體積相對較大的工件的檢漏。

外接抽空系統(tǒng)由氦質(zhì)譜檢漏儀控制，無需額外的操作。提高效率2-4倍。

適用于：電子封裝，電力絕緣套管，真空波紋管，熱交換器，真空閥門等體積相對較大，需要快速檢漏的產(chǎn)品。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。

快速檢漏輔助系統(tǒng)一

通過外加大抽速真空泵，達到對抽空工件快速抽空的目的。適用于體積相對較大的工件的檢漏。

外接抽空系統(tǒng)由氦質(zhì)譜檢漏儀控制，無需額外的操作。提高效率2-4倍。

適用于：電子封裝，電力絕緣套管，真空波紋管，熱交換器，真空閥門等體積相對較大，需要快速檢漏的產(chǎn)品。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。