名稱：主動消磁-電磁屏蔽-電鏡消磁器-SC-26

型號：SC-26

品牌：Spicer Consulting

描述：SC26是第四代磁場抵消系統(tǒng)，被優(yōu)化用于抵消300mm 晶圓廠里晶圓運(yùn)輸工具的高頻磁場，通常在9kHz.

產(chǎn)品介紹：

SC26是第四代磁場抵消系統(tǒng)，被優(yōu)化用于抵消300mm 晶圓廠里晶圓運(yùn)輸工具的高頻磁場，通常在9kHz。

SC26是SC20Fast系統(tǒng)的升級版，該系統(tǒng)在晶圓廠的安 裝數(shù)量*已超過200臺。

SC26的工作原理與其他消磁系統(tǒng)類似。消磁方法是產(chǎn) 生一個(gè)寬帶模擬負(fù)反饋。嵌入式微型計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)并將測量磁場進(jìn)行數(shù)字化處理，但不屬于反饋回路。

SC26在電子束設(shè)備附件中的參考安裝如圖4所示?？刂?nbsp;單元未顯示。消磁電纜顯示為紅色、綠色和藍(lán)色。此參考安裝用于SC26系統(tǒng)性能。200kHz 'Sensor SC26/AC' (圖 6）測量磁場，控制單元對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理，并以正確的振幅和相位通過電纜驅(qū)動電流，使測量磁場為零。

SC26系統(tǒng)的操作需要“Sensor SC26/AC”。SC26控制單元有兩個(gè)傳感器的輸入端。它將與一個(gè)或兩個(gè)傳感器工作。當(dāng)它在兩個(gè)輸入端檢測到傳感器時(shí)，SC26啟用混頻器功能。

為了消除直流磁場，有必要通過傳感器組合單元為每個(gè)使用的輸入端添加一個(gè)“傳感器SC24/DC+AC”。然后，SC26將啟用直流抵消功能，并在觸摸屏上顯示直 流磁場。DC消除功能很復(fù)雜，但有時(shí)是必要的。

SC26無法消除電子束設(shè)備附件內(nèi)的所有磁場。它在磁 場傳感器周圍創(chuàng)建一個(gè)區(qū)域，大幅度削減磁場。該區(qū)域的大小取決于周圍磁場的均勻性、磁場電纜的設(shè)計(jì)以及電子束設(shè)備的金屬結(jié)構(gòu)對磁場的扭曲程度。主動消磁-電磁屏蔽-電鏡消磁器-SC-26

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 改善外部磁場干擾以達(dá)到電子束儀器對磁場規(guī)格的要求

· 實(shí)時(shí)寬帶消除從DC到＞9kHz的磁場

·  在10μs之內(nèi)適應(yīng)磁場幅度和頻率變化

· 觸摸屏智能用戶界面，具有自動設(shè)定和直流復(fù)位功能

· 面板同時(shí)顯示交流及直流磁場數(shù)值并可選擇不同單位( Tesla或 Gauss)

· 混合式雙傳感器，可在EM模塊里產(chǎn)生一個(gè)虛擬感應(yīng)器

· 內(nèi)置測試場發(fā)生器

· 具備以太網(wǎng)和USB端口，以供遠(yuǎn)程操作及監(jiān)視