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FSM128 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備 500TC和900TC

1. 簡(jiǎn)單介紹

  FSM 128 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備:美國(guó)Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備，客戶遍布*, 主要產(chǎn)品包括:光學(xué)測(cè)量設(shè)備: 三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應(yīng)力測(cè)量設(shè)備、 紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備、電學(xué)測(cè)量設(shè)備:高溫四探針測(cè)量設(shè)備、非接觸式片電阻及 漏電流測(cè)量設(shè)備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT)

2. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

  FSM128 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

  在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, zui終引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

  1) 快速、非接觸式測(cè)量

  2) 128型號(hào)適用于3至8寸晶圓

  128L型號(hào)適用于12寸晶圓

  128G 型號(hào)適用于470 X 370mm樣品，

  另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺(tái)

  3) 雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù)

  如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用

  另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用

  4) 全自動(dòng)平臺(tái)，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)

  5) 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求

  電介質(zhì)厚度測(cè)量

  6) 500 及 900°C高溫型號(hào)可選

  7) 樣品上有圖案亦適用

3. 規(guī)格

  1) 測(cè)量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

  2) 樣本尺寸:

  FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

  FSM 128G: /大550×650 mm

  3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

  4) 激光強(qiáng)度: 根據(jù)樣本反射度自動(dòng)調(diào)節(jié)

  5) 激光波長(zhǎng): 650nm及780nm自動(dòng)切換(其它波長(zhǎng)可選)

  6) 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 4 GPa

  (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

  7) 重復(fù)性: 1% (1 sigma)*

  8) 準(zhǔn)確度: ≤ 2.5%

  使用20米半徑球面鏡

  9) 設(shè)備尺寸及重量:

  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

  電源 : 110V/220V, 20A

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備 500TC和900TC：

：

型號(hào)：500TC

型號(hào)：900TC

岱美有限公司成立于1989年，是數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，半導(dǎo)體，光學(xué)，光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。在21世紀(jì)初期，Dymek已從我們?cè)谙愀鄣目偛繑U(kuò)展到亞洲，以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中，我們的客戶有連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈已經(jīng)成為基本。我們我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。

我們總部設(shè)在香港，在中國(guó)（北京和上海，以及廣東東莞）擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來西亞，新加坡，中國(guó)臺(tái)灣，菲律賓和泰國(guó)的東南亞設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。我們所有的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年，我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。

我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系，滿足東南亞快速增長(zhǎng)企業(yè)的需求。對(duì)于我們的客戶，我們不僅提供設(shè)備，還提供建議和技術(shù)指導(dǎo)，以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的新發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商，我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來自歐洲，美國(guó)，日本和韓國(guó)的*設(shè)備連接起來。

可以立即聯(lián)系我們，了解我們?nèi)绾闻c您合作，實(shí)現(xiàn)您組織的*財(cái)務(wù)目標(biāo)。