•4"卡盤，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個開關(guān)獨(dú)立控制
•卡盤X-Y的移動范圍4''X4''，移動精度：10微米
•卡盤可以360度旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于0.1度，帶有鎖定旋鈕
•卡盤可以升降，行程8mm，微調(diào)精度1um，帶鎖死裝置
•Chuck可以附加獨(dú)立的校準(zhǔn)片載臺，以符合未來擴(kuò)展射頻量測的需求。
•顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉(zhuǎn)式設(shè)計(jì)，便于快速移動顯微鏡，顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺
體視顯微鏡規(guī)格：
•變焦：0.8倍~5倍，總放大倍率：16倍~200倍
•雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm，傾斜360°旋轉(zhuǎn)
•顯微鏡在X，Y，Z軸方向的調(diào)節(jié)范圍：>50.8mm，調(diào)節(jié)精度小于2微米
•工作距離:115mm,加裝2倍輔助鏡工作距離40mm；
•帶CCD接口和0.4XC-mount
•小分辨率≦2um
•帶外置LED高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD規(guī)格
•1/2.8"SonyIMX236(C)傳感器
•1200萬像素，分辨率2.8*2.8um
•HDMI高清接口，圖片分辨率1920x1080
•超高動態(tài)反應(yīng)速率，60幀/秒
•內(nèi)嵌控制測量軟件XcamView，USB鼠標(biāo)實(shí)現(xiàn)控制
•SD卡插槽，圖片存儲用,送32GSD卡