顯微分光光度計(jì)DUV-VIS-NIR

型號：MSP100/MSP300/MSP400/MSP450/MSP500

顯微分光光度計(jì)（Micro-Photometer，Micro Spectrophotometer）用于表征在微米區(qū)域內(nèi)的薄膜，厚涂層的光學(xué)特性。顯微分光光度計(jì)也稱為微反射計(jì)，顯微光譜儀，顯微光度計(jì)，顯微光譜光度計(jì)等。用戶可實(shí)時視頻，強(qiáng)大的數(shù)字編輯，反射測量工具享受顯微光譜儀（MSP系列）的數(shù)字成像功能，透射，吸收光譜，數(shù)據(jù)采集??僅需幾毫秒。TFProbe軟件允許用戶設(shè)置加熱階段或冷卻階段以實(shí)時進(jìn)行動力學(xué)研究，以了解光學(xué)性質(zhì)的變化，例如反射率，透射率，涂層厚度，折射率（光學(xué)常數(shù)）等。在具有電動XY載物臺或Rho-Theta載物臺的各種顯微分光光度計(jì)型號中，還提供自動映射功能，以及電動聚焦功能。波長范圍通常是用戶要考慮的重要因素。此顯微分光光度計(jì)涵蓋從深紫外線（DUV）到近紅外（NIR）范圍。應(yīng)該考慮哪個范圍取決于幾個因素，例如薄膜或厚涂層的厚度范圍是多少，反射率或透射率光譜的典型波長范圍是什么等等。顯微分光光度計(jì)已用于各個領(lǐng)域，例如納米晶圓廠，法醫(yī)，醫(yī)學(xué)，MEMS，MEOMS，生物，化學(xué)等。

我們提供了三種分光光度計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)配置。MSP100覆蓋250至1000nm（DUV-Vis）。系統(tǒng)將附帶一個DUV-Vis全范圍物鏡。MSP300的波長范圍為400至1000nm，用于可見反射或透射光譜測量。MSP300適用于厚膜厚度測量。MSP500涵蓋從DUV到NIR的全范圍（250-1700nm）。可以自定義其他波長范圍或功能以滿足您的應(yīng)用。

應(yīng)用范圍：

半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物..）

液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

法醫(yī)，生物膜和材料

油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉

藥品，醫(yī)療器械

光學(xué)涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

半導(dǎo)體化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶，納米和晶體硅

PET上的硬涂層

特征：

*光學(xué)器件和堅(jiān)固的設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)較長的正常運(yùn)行時間和好的系統(tǒng)性能

基于陣列的探測器系統(tǒng)可確保快速測量

價格合理，便攜式且占地面積小的桌面設(shè)計(jì)

在微米尺寸區(qū)域內(nèi)多可測量5層膜的厚度和折射率

允許以毫秒為單位獲取反射，透射和吸收光譜

能夠用于實(shí)時光譜，厚度，折射率監(jiān)測

系統(tǒng)附帶全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和庫

*軟件允許用戶為每個單獨(dú)的膠片使用NK表，色散或合成模型（EMA）

集成的視覺，光譜，模擬，膜厚測量系統(tǒng)

適用于許多不同類型的基板，具有不同的厚度和尺寸

深紫外線可以測量超薄膜的厚度及其帶隙

2D和3D輸出圖形用于映射功能和用戶友好的數(shù)據(jù)管理界面

*成像軟件可進(jìn)行尺寸測量，例如角度，距離，面積，顆粒計(jì)數(shù)等

提供多種選項(xiàng)以滿足特殊應(yīng)用

系統(tǒng)配置：