MC系列氣體質(zhì)量流量控制器
美國(guó)艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美國(guó)成立，是杰出的質(zhì)量流量和壓力解決方案廠商，隸屬于英國(guó)豪邁(Halma)集團(tuán)環(huán)境與分析事業(yè)部，榮膺“年度子公司獎(jiǎng)”、“業(yè)務(wù)拓展增長(zhǎng)獎(jiǎng)”和“豪邁創(chuàng)新獎(jiǎng)”。
Alicat產(chǎn)品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術(shù)，憑借航天級(jí)水準(zhǔn)，長(zhǎng)期支持美國(guó)航天局(NASA)、SpaceX火箭項(xiàng)目，并為科研及工業(yè)領(lǐng)域提供快捷、穩(wěn)定的技術(shù)解決方案。
產(chǎn)品類(lèi)型：氣體或液體質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
客戶(hù)行業(yè)：實(shí)驗(yàn)科研、環(huán)境保護(hù)、生物醫(yī)藥、過(guò)程控制、能源化工、半導(dǎo)體以及相關(guān)的公共事業(yè)。
應(yīng)用領(lǐng)域：計(jì)量檢測(cè)、泄漏測(cè)試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。
響應(yīng)式氣體流量控制，抑制壓力波動(dòng)
性能好的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的MFC構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。

氣體噴射控制pH值
在跨度極寬的量程范圍內(nèi)迅速調(diào)整并控制質(zhì)量流量以符合不斷變化的應(yīng)用需要。根據(jù)PLC或PC的數(shù)字反饋，實(shí)時(shí)更改流量設(shè)定值，保持過(guò)程工藝條件。
自定義氣體混合系統(tǒng)
艾里卡特的質(zhì)量流量控制器非常適用于構(gòu)建自定義氣體混合系統(tǒng)；在這種類(lèi)型應(yīng)用中，可充分發(fā)揮其固有的靈活性和適應(yīng)性。
高溫質(zhì)量流量控制
艾里卡特的遠(yuǎn)程電子器件選項(xiàng)將電子器件與傳感器和流量?jī)x表主體部分分隔開(kāi)來(lái)。這允許流動(dòng)的高溫氣體通過(guò)流量?jī)x表的主體部分，且不會(huì)使控制器電子器件超出其設(shè)計(jì)溫度。
更多產(chǎn)品信息請(qǐng)查看質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿(mǎn)量程
• 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

• MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
• 艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)

配件（需另行訂購(gòu)）

• 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件

型號(hào)變體

• 低壓損型號(hào)，多60 psia（MCW系列）
• 高壓型號(hào)，160-320 psia（MCQ系列）
• 閥門(mén)內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度*）型號(hào)（MCE系列）
• 配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見(jiàn)下文）

閥門(mén)選項(xiàng)
您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén)，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。

• MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名稱(chēng)的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用
• MCP系列—選配大孔徑的小型比例控制閥（對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
• MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)。
• MCR系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體（MCS系列）
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門(mén)升級(jí)為303不銹鋼閥門(mén)，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。對(duì)于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時(shí)將滿(mǎn)量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門(mén)（PCA型）和流量?jī)x表主體部分升級(jí)為316L材質(zhì)。
結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂）

性能選項(xiàng)

• 流量累加器
• 集成式電位計(jì)控制
• 高精度或自定義校準(zhǔn)