TESCAN S9000X FIB-SEM雙束電鏡
- 公司名稱 上海永傲精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2019/10/11 14:51:20
- 訪問次數(shù) 776
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清潔度測(cè)試儀,業(yè)納計(jì)量?jī)x器,業(yè)納工業(yè)顯微相機(jī),光學(xué)軸類測(cè)量機(jī),奧林巴斯金相顯微鏡,科研相機(jī),電動(dòng)位移臺(tái)
價(jià)格區(qū)間 | 400萬-500萬 | 儀器種類 | 場(chǎng)發(fā)射 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),冶金,司法,綜合 |
TESCAN S9000X 是半導(dǎo)體和材料表征中具挑戰(zhàn)性的物理失效分析應(yīng)用的平臺(tái),具有*的精度和*的效率。 TESCAN S9000X 提供了納米尺寸結(jié)構(gòu)分析所必需的高分辨率和表面靈敏度,為大體積 3D 樣品特性分析提供了很好條件。同時(shí),它還提供的 FIB 功能,可實(shí)現(xiàn)精確、無損的超大面積加工,包括封裝技術(shù)和光電器件的橫截面加工。
當(dāng)今半導(dǎo)體器件的物理故障分析已經(jīng)成為一項(xiàng)極其復(fù)雜的任務(wù),需要處理越來越小的具有更高密度和更高功能的器件。一般來說,隨著新納米技術(shù)和納米材料的發(fā)展以及集成電路的設(shè)計(jì)和體系結(jié)構(gòu)的日益復(fù)雜,這就需要高度可靠的分析平臺(tái),以跟上集成電路、光電器件的發(fā)展。TESCAN S9000X 是一個(gè)強(qiáng)大的 FIB-SEM 平臺(tái),專門設(shè)計(jì)來應(yīng)對(duì)這樣的挑戰(zhàn)。新一代 Triglav™ 鏡筒的探測(cè)器系統(tǒng)具有優(yōu)異的表面靈敏度和出色的對(duì)比度;另一方面,新的 iFIB+™ 離子鏡筒進(jìn)一步的擴(kuò)大了 Xe 等離子 FIB 應(yīng)用領(lǐng)域,提升了大體積樣本微加工和 3D 微量分析的能力,并且縮短了加工時(shí)間。
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