ProX飛納臺式掃描電鏡電鏡能譜一體機是集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。

研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX可以完善解決上述所有問題。

能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設(shè)計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX系統(tǒng)中。

Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

Phenom ProX 電鏡能譜一體機具有飛納系列全自動操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點，無需防震環(huán)境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。

ProX飛納臺式掃描電鏡電鏡能譜一體機主要參數(shù)：

光學(xué)顯微鏡：放大20-135倍

電子顯微鏡：130,000倍

探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器

燈絲材料：1,500小時CeB6燈絲

分辨率：優(yōu)于14 nm

放置環(huán)境：采用專業(yè)防震設(shè)計，可擺放于普通實驗室或辦公室、廠房

加速電壓：5kV-15kV連續(xù)可調(diào)

抽真空時間：小于15秒

探測元素范圍：B（5）- Am（95）號元素

能譜探測器：硅漂移探測器（SDD）

冷卻方式：無液氮 Peltier 效應(yīng)電制冷

能量分辨率：<137eV（MnKaα）

探測器晶體活性面積：25mm2

Phenom ProX電鏡能譜一體機可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。