充氮充氦氟油檢漏平臺(tái)
- 公司名稱 上海弘燊真空科技發(fā)展有限公司-J
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/2/25 23:44:45
- 訪問(wèn)次數(shù) 1098
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
---|
商品描述:
充氮充氦氟油檢漏平臺(tái)是對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行密封性、可靠性粗檢漏的設(shè)備。這是密封電子器件背壓法氦質(zhì)譜檢漏的配套設(shè)備,由兩部分組成。*部分是被檢密封器件壓氮。第二部分是對(duì)被檢密封器件壓氟油。
這套設(shè)備有手動(dòng)和PLC自動(dòng)控制兩種類型;有液面高度自動(dòng)控制和過(guò)程狀態(tài)顯示‘壓氦和壓氟油分開(kāi),各自獨(dú)立進(jìn)行,靈活且互不干擾;關(guān)鍵零部件,如閥門、管道、法蘭、壓力罐和儲(chǔ)油罐等,均用不銹鋼制造。濾油罐可濾除5μm的固體顆粒,確保氟油清潔。
充氮充氦氟油檢漏平臺(tái)與氦質(zhì)譜檢漏儀配合,能夠完成GJB36A-96、GJB548-96A和GJB128A-97標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的對(duì)點(diǎn)子和半導(dǎo)體器件的檢漏。
主要技術(shù)指標(biāo):
1. 壓力表: 數(shù)字式
2. 真空度: ≤50Pa
3. 充氦壓力: 0.2~1.0Mpa,可調(diào)
4. 指示液溫度(FC43)溫度:(125±5)℃
5. 保壓時(shí)間 :1~10h,可調(diào)