OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡BX53M

為工業(yè)和材料學應(yīng)用而設(shè)計

OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計，為廣泛的材料學和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。
BX53M改進了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報告創(chuàng)建的無縫工作流程

高級的顯微觀察 便捷的顯微操作

用戶友好性

簡單的、向?qū)降娘@微鏡操作設(shè)置，使用戶更容易進行調(diào)節(jié)，并復制系統(tǒng)設(shè)置

功能性

BX53M為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計，并擴展了其功能，以滿足更廣泛的應(yīng)用和檢查技術(shù)的要求。

精密的光學元件

奧林巴斯公司具有生產(chǎn)高質(zhì)量光學元件的悠久歷史，無論用目鏡觀察，還是通過顯示器觀察，都具備*的圖像畫質(zhì)。

全面可定制性

模塊化設(shè)計可以為用戶靈活地構(gòu)建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。

直觀的顯微鏡控制舒適而便于使用

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長的時間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進行必要的測量，
從而得到令人滿意的報告。用戶有時需要投入時間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓，或只
了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
BX3M通過其優(yōu)良的設(shè)計和便捷的控制功能，簡化了復雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長時
間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX3M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，
zui大程度減少了人為錯誤。

簡單的照明器：傳統(tǒng)技術(shù)易于操作

照明器的設(shè)計zui大程度減少了顯微鏡操作過程中通常所必須的復雜操作。照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換zui常用的觀察方法，比如從明場觀察到暗場觀察，到偏光觀察，以隨時改變不同類型的分析。此外，旋轉(zhuǎn)檢偏鏡即可調(diào)節(jié)簡單的偏光觀察。

直觀的顯微鏡控制

使用正確的孔徑光闌和視場光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標志可引導用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進行正確的設(shè)置。

對焦刻度標尺：快速找到焦點

機架上的對焦刻度標尺支持快速鎖定焦點。操作者可以大致地對準焦點，而不用通過目鏡查看樣品，從而在檢查具有不同高度的樣品時節(jié)省了時間。

針對各種檢查和分析任務(wù)的功能

保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對比法，比如明場、暗場、偏光和微分干涉。隨著
新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用*的顯微鏡檢查技術(shù)來進行更精確和更可靠的檢查，從而解
決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對比法檢查時遇到的缺陷檢測方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林
巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項為用戶提供了評估樣品、文檔記錄的更多選擇。
此外，BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號更大、更重、更特殊的樣品。

容納豐富多樣的樣品可以容納更多的樣品類型和尺寸

新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設(shè)計，可以輕松地將大樣品，或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實驗室空間?？烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

樣品高度和重量的靈活性

使用選配的模塊組件可以將zui高105mm的樣品放置在載物臺上。由于改

進了調(diào)焦機構(gòu)，因此顯微鏡可以容納zui重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更
重的樣品，從而減少了實驗室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動時，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

樣品尺寸大小的靈活性

如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學部件組裝到一個模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。