晶圓搬送對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便

•可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。

•分別對應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。

晶圓搬送堅(jiān)固、可靠和安全傳送

•延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。

•薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。

•宏觀觀察位置的*化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式

高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。