美國MKS控制閥
MKS控制閥（Control valve）由兩個(gè)主要的組合件構(gòu)成：閥體組合件和執(zhí)行機(jī)構(gòu)組合件（或執(zhí)行機(jī)構(gòu)系統(tǒng)），分為四大系列：?jiǎn)巫盗锌刂崎y、雙座系列控制閥、套筒系列控制閥和自力式系列控制閥。四種類型閥門的變種可導(dǎo)致許許多多不同的可應(yīng)用的結(jié)構(gòu)，每種結(jié)構(gòu)有其特殊的應(yīng)用、特點(diǎn)、優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。雖然某些控制閥較其他閥門有較廣的應(yīng)用工況，但控制閥并不能適用所有的工況，以共同構(gòu)建增強(qiáng)性能、降低成本的*解決方案。
MKS調(diào)節(jié)閥的閥體種類很多，常用的有直通單座、直通雙座、角形、隔膜、小流量、三通、偏心旋轉(zhuǎn)、蝶形、套筒式、球形等。在具體選擇時(shí)，可做如下考慮：
主要根據(jù)所選擇的流量特性和不平衡力等因素來考慮。
當(dāng)流體介質(zhì)是含有高濃度磨損性顆粒的懸浮液時(shí)，閥的內(nèi)部材料要堅(jiān)硬。
由于介質(zhì)具有腐蝕性，盡量選擇結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單閥門。
當(dāng)介質(zhì)的溫度、壓力高且變化大時(shí)，應(yīng)選用閥芯和閥座的材料受溫度、壓力變化小的閥門。
閃蒸和空化只產(chǎn)生在液體介質(zhì)。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，閃蒸和空化會(huì)形成振動(dòng)和噪聲，縮短閥門的使用壽命，因此在選擇閥門時(shí)應(yīng)防止閥門產(chǎn)生閃蒸和空化。

美國MKS控制閥是一種精密的流量控制設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)等領(lǐng)域。

美國MKS控制閥的功能主要包括以下幾個(gè)方面：

精確控制氣流：MKS控制閥能夠精確控制過程中上游的氣流，這對(duì)于維持穩(wěn)定的工藝環(huán)境至關(guān)重要。

減少污染和腐蝕：使用金屬密封件以避免污染和腐蝕，確保了產(chǎn)品的純凈度和延長了設(shè)備的使用壽命。

高溫運(yùn)行能力：MKS高溫閥可在150°C的過程溫度下運(yùn)行，適應(yīng)了更廣泛的工業(yè)應(yīng)用需求。

調(diào)節(jié)和更換便利性：MKS控制閥的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換，這使得維護(hù)和調(diào)整變得更加便捷。

控制性能優(yōu)化：通過兩個(gè)螺旋彈簧使電樞在閥體內(nèi)居中并抵抗磁升力，最大限度地減少了摩擦和遲滯，從而優(yōu)化了控制性能。

適應(yīng)不同流量范圍：MKS控制閥提供了廣泛的流量范圍，能夠滿足不同工藝過程的需求。

美國MKS控制閥的特性主要包括以下幾點(diǎn)1：

精確控制：上游流量控制閥是比例控制閥，設(shè)計(jì)用于精確控制過程中上游的氣流。

減少污染和腐蝕：使用保證外部泄漏率小于1x10-10atmcc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。

高溫運(yùn)行能力：148高溫閥可在150°C的過程溫度下運(yùn)行。

調(diào)節(jié)功能：當(dāng)與MKS控制器和適當(dāng)?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r(shí)，248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量，同時(shí)保持準(zhǔn)確和精確的壓力或流量。

易維護(hù)性：248D閥門的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換。

廣泛的流量范圍：滿量程流量范圍為10-50,000標(biāo)準(zhǔn)立方厘米，最小可控流量根據(jù)不同情況分別為0.2%滿量程（小于100sccm）、0.1%滿量程（100至10,000sccm）和小于2%滿量程（大于10,000sccm）。

密封材料多樣性：提供多種密封材料選項(xiàng)，如Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez，以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。

工作溫度范圍：工作溫度范圍為-10至60°，適應(yīng)多種環(huán)境條件。

以上特性使得美國MKS控制閥成為半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備的理想選擇。

美國MKS真空計(jì) MKS真空壓力計(jì) MKS薄膜真空計(jì) MKS壓力傳感器 MKS壓力開關(guān) MKS流量計(jì) MKS流量控制閥
MKS部分系列
MKS壓力控制閥
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