2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動(dòng)型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)。

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產(chǎn)品型號(hào)：Zepto

控制系統(tǒng)：手動(dòng)型

  PCCE控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows CE)、PC 控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows POS Ready 2009)

體積：1.7~2.6L

   真空腔室：圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ 105 mm, 長(zhǎng) 200 mm 或者長(zhǎng) 300 mm）

圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ105 mm, 長(zhǎng) 200 mm 或者長(zhǎng) 300 mm）

電極：?jiǎn)螌踊蚨鄬?/span>

樣品支架：鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計(jì)：Pirani

計(jì)時(shí)器：數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器：40 kHz: 功率 0 - 100 W、13.56 MHz: 功率 0 - 50 W

真空泵：KASHIYAMA           

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。