德國diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：

1、等離子清洗機(jī)效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣

2、對(duì)清洗樣品沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

3、等離子清洗過程中升溫小，基本可達(dá)到常溫處理

4、射頻功率無極連續(xù)可調(diào)

5、高校的特質(zhì)電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證

6、特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空腔體內(nèi)部空間，使處理效率zui大化，同時(shí)也可得到全面有效的清洗

7、*的過載、短路和過熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全

8、設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡(jiǎn)單

Diener等離子清洗機(jī) Zepto 參數(shù)配置：

主要技術(shù)參數(shù)：

1. 手動(dòng)控制
2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)
3. 雙路工作氣體，浮球氣體流量計(jì)
4. 反應(yīng)艙為高硼硅玻璃，Ø105 mm*L300mm，容積為2.6L
5. 高周波電流頻率13.56MHz,功率0~50W
6. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
7. 運(yùn)行模式為手動(dòng)
8. 真空泵的排氣能力為1.6m3/Hour，配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥
9. 外尺寸：W425*D450*H185mm
10. 電源電壓：?jiǎn)蜗?/span>AC230V 16A

配置清單：

選配：

1. 雙路工作氣體（MFC控制）（代替參數(shù)3）
2. 石英玻璃艙體(代替參數(shù)4)
3. 真空泵，排量為3.0m3/h(代替參數(shù)11)
4. Pirani pressure sensor 皮拉尼傳感器