原子力顯微鏡

FM-Nanoview 6800AFM

一、主要功能特點

     硬件系統(tǒng)

1. 光機電一體化設計，外形結構簡單；
2. 掃描探頭和樣品臺集成一體，抗*力強；
3. 精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調節(jié)簡單，操作方便；
4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5. 伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅動樣品垂直接近探針，實現掃描區(qū)域精確定位；
6. 高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；
7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；
8. 帶光學定位的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；
9. 采用伺服馬達控制CCD自動對焦功能；
10. 模塊化的電子控制系統(tǒng)設計，便于電路的持續(xù)改進與維護；
11. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。
12. 帶溫度、濕度顯示。
13. 彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，抗*力強
14. 帶光學定位功能

    軟件系統(tǒng)

1. 可觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像；
2. 具備接觸、輕敲兩種模式,可選配（相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式）；
3. 可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512；
4. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
5. 多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
6. 可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
7. 可任意選擇樣品起始掃描角度；
8. 激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調整功能；
9. 針尖共振峰自動和手動搜索功能；
10. 可任意定義掃描圖像的色板功能；
11. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
12. 支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正；
13. 支持樣品圖片離線分析與處理功能。

二、主要技術指標

1. 工作模式：接觸、輕敲、可擴展相位、摩擦力、磁力或靜電力
2. 樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
3. zui大掃描范圍：橫向50um，縱向5um
4. 掃描分辨率：橫向0.2nm，縱向0.05nm
5. 掃描速率：0.6Hz~4.34Hz
6. 掃描角度：任意
7. 樣品移動范圍：0～50mm
8. 馬達趨近脈沖寬度：10±2ms
9. 光學放大倍數：10X
10. 光學分辨率：1um
11. 圖像采樣點：256×256，512×512
12. 掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
13. 數據采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
14. 反饋方式：DSP數字反饋
15. 反饋采樣速率：64.0KHz
16. 計算機接口：USB2.0
17. 運行環(huán)境：運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)