NRL60A/90A/180A NRL60A/90A/180A干式真空泵
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海民儀電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào) NRL60A/90A/180A
- 產(chǎn)地 日本ULVAC
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/7 9:43:29
- 訪問次數(shù) 1681
產(chǎn)品標(biāo)簽
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特長(zhǎng)
● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
● 低噪音、低振動(dòng)
● 優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
● 選購(gòu)件
可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。
用途
◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)
◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
◆ 作為前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)
◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣
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