Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低輻射玻璃）生產(chǎn)線中的應(yīng)用

LOW-E全名Low emissivity，是低輻射鍍膜玻璃。相對(duì)熱反射玻璃而言是一種新型節(jié)能玻璃。目前上普遍采用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)（離線法）生產(chǎn)Low-E玻璃。伯東公司銷售的德國普發(fā) Pfeiffer 分子泵成功應(yīng)用于此。

原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕數(shù)量級(jí)的真空環(huán)境中，通入適量的工藝氣體（惰性氣體Ar或反應(yīng)氣體O2、N2），并保持真空度穩(wěn)定。將靶材Ag、Si等嵌入陰極，并在與陰極垂直的水準(zhǔn)方向置入磁場(chǎng)從而構(gòu)成磁控靶。以磁控靶為陰極，加上直流或交流電源，在高電壓的作用下，工藝氣體發(fā)生電離，形成等離子體。其中，電子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用下，進(jìn)行高速螺旋運(yùn)動(dòng)，碰撞氣體分子，產(chǎn)生更多的正離子和電子；正離子在電場(chǎng)的作用下，達(dá)到一定的能量后撞擊陰極靶材，被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜。為了形成均勻*的膜層，陰極靶靠近玻璃表面來回移動(dòng)。為了取得多層膜，必須使用多個(gè)陰極，每一個(gè)陰極均是在玻璃表面來回移動(dòng)，形成一定的膜厚。

德國普發(fā) PFEIFFER 憑藉其120多年的真空制造經(jīng)驗(yàn)和范圍內(nèi)的售后服務(wù)和技術(shù)支援贏得LOW-E市場(chǎng)客戶的青睞，德國馮.阿登納（VON ARDENNE）是zui典型的客戶。PFEIFFER 分子泵的LOW-E生產(chǎn)線使用在信義玻璃，南玻等中國玻璃制造*。

Pfeiffer 分子泵優(yōu)點(diǎn)：

Ø  多抽速供客戶選擇，抽速為1,000至2,000L/S

Ø  對(duì)于H2,He和Ar,CF4有高的抽速

Ø  安裝位置從0到90度，90到180度

Ø  高的氣體流通量，即使是Ar,CF4

Ø  集成的TC 1200驅(qū)動(dòng)單元可直接連接電源

Ø  抗腐蝕能力供選擇

Ø  豐富的介面介面：RS-485以及遠(yuǎn)端控制；profibus或者Devicenet可供選擇

Ø  擁有IP 54和Semi S2 等級(jí)

Ø  穩(wěn)定安全的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)

Ø  符合UL,CSA以及TUV認(rèn)證

Ø  簡(jiǎn)單的安裝

伯東公司作為優(yōu)秀的德國PFEIFFER真空設(shè)備中國供應(yīng)商。深圳，上海設(shè)有德國PFEIFFER同步的服務(wù)中心，提供完善的售前，售后服務(wù)。

伯東公司 主要經(jīng)營產(chǎn)品 德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的 真空測(cè)量（真空計(jì), 真空規(guī)管）; 氦質(zhì)譜檢漏儀；質(zhì)譜分析儀；真空系統(tǒng)以及美國 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機(jī)和美國KRI 離子源.Gamma離子泵等。

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