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產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>電子顯微鏡>掃描探針顯微鏡SPM(原子力顯微鏡AFM)> N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng)

N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 日立科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2017/8/23 11:00:20
  • 訪問次數(shù) 2660

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  日立高新技術(shù)集團(tuán)的企業(yè)理念是“以成為先端技術(shù)領(lǐng)域里提供高科技解決方案的*為目標(biāo)”。在這個(gè)理念的指引下,將電子裝置系統(tǒng)、生命科學(xué)系統(tǒng)、信息電子系統(tǒng)、*產(chǎn)業(yè)材料系統(tǒng)等各個(gè)事業(yè)部門的“先端技術(shù)”推向世界的Z前線。

  為了應(yīng)對(duì)日新月異的技術(shù)革新和需求的多樣化,達(dá)成事業(yè)的化,日立高新技術(shù)集團(tuán)同時(shí)具有用先端技術(shù)開發(fā)制造新產(chǎn)品的制造功能和向提供優(yōu)化解決方案的貿(mào)易公司機(jī)能,是一家在先端科技領(lǐng)域里向*更快、更好地提供產(chǎn)品和服務(wù)的性企業(yè)。

  日立高新技術(shù)集團(tuán)Z重視的是在中國(guó)地區(qū)的事業(yè)戰(zhàn)略。我們?cè)谏虾!⒈本?、深圳、香港設(shè)立了獨(dú)資公司,這些地方分公司在中國(guó)的11個(gè)地區(qū)設(shè)有銷售和技術(shù)服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)。同時(shí)在蘇州和大連還設(shè)有生產(chǎn)基地。日立高新技術(shù)集團(tuán)不但支持中國(guó)電子產(chǎn)業(yè)和高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的半導(dǎo)體制造,而且提供各種解析設(shè)備,LCD制造和檢查設(shè)備,芯片貼裝設(shè)備等。在保障人民安全和健康的科學(xué)醫(yī)療領(lǐng)域,還提供各種解析、分析儀器及應(yīng)用相關(guān)系統(tǒng)等*開發(fā)產(chǎn)品和相應(yīng)的優(yōu)質(zhì)且完善的售后服務(wù)。此外,日立高新技術(shù)集團(tuán)從中國(guó)各地向*提供支持電子、高科技、汽車產(chǎn)業(yè)、環(huán)境和節(jié)能技術(shù)的各種新功能材料的采購(gòu)解決方案,通過靈活利用網(wǎng)絡(luò)和其貿(mào)易公司功能,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)造附加價(jià)值的事業(yè)模式。

  日立高新技術(shù)中國(guó)實(shí)業(yè)集團(tuán)作為被大家所信賴的企業(yè),在遵紀(jì)守法的同時(shí),力爭(zhēng)創(chuàng)造新的價(jià)值,以“客戶*位為根本”開展工作,探求持續(xù)性發(fā)展,通過營(yíng)銷活動(dòng)為中國(guó)的高科技產(chǎn)業(yè)、環(huán)境及能源事業(yè)、社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施的安全、人民健康等方面的發(fā)展,不斷地做著積極的貢獻(xiàn)。衷心希望今后也能夠繼續(xù)得到大家的支持和厚愛。

熒光光譜,質(zhì)譜,液相色譜

N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng) 特點(diǎn)

  • 適用于90-65-45-(32)nm制造工藝。
  • 冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,在較低加速電壓條件下具有更好的分辨率。
  • 確保圖像位移量為±100μm,無需移動(dòng)樣品臺(tái)也可實(shí)現(xiàn)寬范圍的檢測(cè)。
  • 具備雙馬達(dá)臺(tái)機(jī)構(gòu)-探針馬達(dá)臺(tái)和樣品馬達(dá)臺(tái),操作簡(jiǎn)單舒適。
  • 的探針頭交換倉(cāng),可順暢而迅速地交換探針頭。使操作舒適而直觀。
  • 上面和側(cè)面兩個(gè)CCD攝像頭,用于探針對(duì)中。
     

N-6000納米探針檢測(cè)系統(tǒng) 技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目

描述

探針單元

探針單元數(shù)量

6(zui多)

驅(qū)動(dòng)方法

壓電式

精調(diào)范圍

5μm(X,Y軸)

粗調(diào)范圍

5mm(X,Y軸)

探針頭交換

氣鎖交換室

樣品臺(tái)
(DUT臺(tái))

位置檢測(cè)

光學(xué)線性量規(guī)

樣品尺寸

15mm x 15mm x 1mm 或更薄

行程范圍

±7.5 mm(X, Y軸)

樣品交換

氣鎖樣品交換倉(cāng)

探針鏡臺(tái)
(基礎(chǔ)鏡臺(tái))

行程范圍

每個(gè)位置 ±5 mm

行程位置

檢測(cè)/樣品交換/探針大致對(duì)中齊/探針交換

電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍

冷場(chǎng)電子發(fā)射源

加速電壓

0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV)

圖像位移

±100μm 或更長(zhǎng)(2 kV,WD=15 mm)

EBAC放大器(*)

電流放大器,差分放器

圖像顯示

掃描電子顯微鏡/ EBAC(*)(單一/平行/覆蓋),上面和側(cè)面CCD攝像頭

真空系統(tǒng)

自動(dòng)系統(tǒng)

顯示器

液晶顯示器


 

外形尺寸和重量

項(xiàng)目

(W)x(D)x(H)

重量

鏡筒單元1,190 x 1,377 x 1,605mm780kg
顯示單元1,000 x 960 x 1,200mm205kg
EBAC單元(*)600 x 1,000 x 1,760mm150kg

安裝條件

項(xiàng)目

描述

室溫15~25deg.
濕度60% RH(相對(duì)濕度)或更低
電源單相 AC100V±10%, 5kVA
接地D級(jí)(100ohm 或更小)


(*):選購(gòu)件
 

可選購(gòu)附件

  • 高分辨率修正
  • 樣品加熱臺(tái)
  • 機(jī)械卡盤架
  • 單元計(jì)數(shù)功能
  • CAD導(dǎo)航系統(tǒng)(故障分析導(dǎo)航系統(tǒng))


化工儀器網(wǎng)

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