化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>其它工業(yè)過程控制及在線分析儀>其它工業(yè)在線分析儀>Leica DM8000M-CDM CD測(cè)量設(shè)備
Leica DM8000M-CDM CD測(cè)量設(shè)備
- 公司名稱 上海江文國際貿(mào)易有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Leica DM8000M-CDM
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2015/10/4 15:00:25
- 訪問次數(shù) 577
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合金孔隙率檢測(cè)儀 光學(xué)數(shù)碼顯微鏡 晶圓檢查顯微鏡 FPD檢查顯微鏡 導(dǎo)電粒子檢測(cè)顯微鏡 OLED檢查顯微鏡 CD測(cè)量設(shè)備 孔隙率測(cè)量顯微鏡 三維超景深顯微鏡,超景深三維視頻顯微鏡,超景深三維顯微鏡
德國徠卡DM8000M-CDM系列測(cè)量針對(duì)半導(dǎo)體制程中光學(xué)檢測(cè)需求開發(fā)設(shè)計(jì),同時(shí)具有套刻、線寬和缺陷檢測(cè)三種功能,可滿足90nm工藝節(jié)點(diǎn)的套刻測(cè)量,0.5um以上的線寬測(cè)量及用戶自定義的缺陷檢測(cè)。
Leica DM8000M采用*的圖形處理技術(shù)和成像系統(tǒng),具有測(cè)量精度高、速度快、應(yīng)用靈活等特點(diǎn),可使用于半導(dǎo)體工藝、微納加工、MEMS、LED等領(lǐng)域中的良率控制。
可支持晶圓尺寸:max :8"Inch
zui小可測(cè)量線寬:0.5um
線寬測(cè)量重復(fù)性:3σ≤8 nm
套刻測(cè)量重復(fù)性:3σ≤6 nm
支持缺陷類型:顆粒;刮傷; 圖形損壞或客戶定義的缺陷類型
聚焦方式:自動(dòng)
上/下片方式:手動(dòng)